島津氦質(zhì)譜檢漏儀是一款大抽速(前級(jí)泵抽速30 m3/h),低維護(hù)、高靈敏度、操作便捷的干泵檢漏儀。A530 氦質(zhì)譜檢漏儀輕松檢漏,使您放心得到快速準(zhǔn)確可靠的測(cè)試結(jié)果。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于科研院所、航空航天、半導(dǎo)體、半導(dǎo)體氣柜,光伏等行業(yè)。
氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種,一種為常規(guī)檢漏,另一種為逆擴(kuò)散檢漏。逆擴(kuò)散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端,漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進(jìn)入安裝在泵的進(jìn)氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測(cè)。這一檢漏方式是基于分子泵對(duì)不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強(qiáng)與進(jìn)氣口壓強(qiáng)之比)即利用不同氣體的逆擴(kuò)散程度不同程度而設(shè)計(jì)的。
島津氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方法:
1、吸槍法
被檢件充入高于大氣壓的探索氣氦,檢漏儀的檢漏口連接稱之為吸槍的氣體采集器。當(dāng)試件有漏時(shí),泄漏的氦氣被吸槍吸入檢漏儀,而被檢測(cè)。吸槍在試件表面移動(dòng),同時(shí)注視檢漏儀漏率指示的變化,一旦泄漏增加,吸槍所指位置即漏點(diǎn)所在。因此吸槍法也是能確定漏孔的檢漏方法。
2、 鐘罩法——測(cè)總漏率
將被檢件與儀器檢漏口聯(lián)接抽真空,在被檢件外面罩以充滿氦氣的容器,如被檢件有漏孔,氦氣便由漏孔進(jìn)入被檢件,zui終達(dá)到質(zhì)譜管被檢測(cè)(圖l-6) 。所測(cè)漏率是被檢件的總漏率,不能確定有幾個(gè)泄漏點(diǎn)和每個(gè)漏點(diǎn)的準(zhǔn)確位置??梢钥闯鲧娬址ㄊ腔趪姶捣ǖ囊环N檢漏方法。
3、 背壓法——測(cè)總漏率
電子元器件進(jìn)行氣密性檢測(cè)時(shí)常用背壓法。檢漏前用加壓容器向被檢件壓入氦氣(由壓力和時(shí)間控制壓入的量) ,然后取出被檢件,吹去表面吸附氦后放入檢漏罐中,再將檢漏罐聯(lián)接到檢漏儀的檢漏口上,對(duì)檢漏罐抽真空,實(shí)施檢漏。若器件有漏,則通過該漏孔壓人的氦氣又釋放出來進(jìn)入檢漏罐,zui終到達(dá)質(zhì)譜管。用這種方法測(cè)得的漏率也是總漏率。
4、 輔助真空系統(tǒng)
對(duì)子漏氣速率和放氣速率較大或者體積較大的被檢件,若直接與檢漏儀相連,檢漏儀的真空度可能抽不上去,使檢漏儀無法工作。此種情況須加接輔助真空系統(tǒng),提高對(duì)被檢件的抽速。zui簡(jiǎn)單的輔助真空系統(tǒng)只需一個(gè)機(jī)械泵和兩個(gè)閥門,復(fù)雜的系統(tǒng)可由前級(jí)泵、次級(jí)泵、閥門、真空規(guī)及標(biāo)準(zhǔn)漏孔等組成。次級(jí)泵可用擴(kuò)散系或羅茨泵,前級(jí)系用氣鎮(zhèn)式機(jī)械泵。